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真空系統介紹
日期：2024-12-23 09:39
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摘要：
真空系統。是由真空泵、PLC程序控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統。目前，該系統應用于電子半導體業、光電背光模組、機械加工等行業。
該真空系統出廠時已經包括了抽速控制、進氣過濾、主要運行數據顯示、運行保護及遠程控制接口等。只需要在現場進行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個完整的真空系統。該真空系統的控制系統由的PLC控制系統經過編程后組成,以觸摸屏為人機界面,實現對真空系統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護系統等的全自動化控制。
真空系統自啟動后，運行過程可以實現全自動控制。在工作中，真空系統內各處的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始終在其允許范圍內上下波動，其波動范圍可根據用戶要求進行調整。使用螺桿真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環真空泵真空系統能達到佳流程工藝。
臺真空泵啟動后達不到設定所需真空時**臺真空泵啟動至達到設定的真空值。當達到所需設定值后臺真空泵停止接著**臺真空泵停止循環工作。我司的真空系統可在無人操作情況下對系統進行自動控制，在停電時可自動封閉真空系統。同時控制箱可以保護真空泵馬達過載及短路。
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