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真空系統(tǒng)設(shè)計中應(yīng)該注意的問題
日期：2024-12-23 10:03
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摘要：
(1)真空元件,如閥門、捕集器、除塵器和真空泵等相互聯(lián)接時,應(yīng)盡量作到抽氣管路短,管道流導(dǎo)大,導(dǎo)管直徑一般不小于泵口直徑,這是系統(tǒng)設(shè)計的一條重要原則。但同時要考慮到安裝和檢修方便。有時為了防振和減少噪音,允許機械泵設(shè)置在靠近真空室的泵房內(nèi)。
(2)機械泵(包括羅茨泵)有振動,要防止振動波及整個系統(tǒng),通常用軟管減振。軟管有金屬和非金屬的兩種,不論采用那種軟管要在大氣壓力作用下不被壓癟。
(3)真空系統(tǒng)建成后,應(yīng)便于測量和檢漏。生產(chǎn)實際告訴我們,真空系統(tǒng)在工作過程中,經(jīng)常容易出現(xiàn)漏氣而影響生產(chǎn)。為了迅速找到漏孔,要進(jìn)行分段檢漏,因此每一個用閥門封閉的區(qū)間,至少要有一個測量點,以便測量和檢漏。
(2)機械泵(包括羅茨泵)有振動,要防止振動波及整個系統(tǒng),通常用軟管減振。軟管有金屬和非金屬的兩種,不論采用那種軟管要在大氣壓力作用下不被壓癟。
(3)真空系統(tǒng)建成后,應(yīng)便于測量和檢漏。生產(chǎn)實際告訴我們,真空系統(tǒng)在工作過程中,經(jīng)常容易出現(xiàn)漏氣而影響生產(chǎn)。為了迅速找到漏孔,要進(jìn)行分段檢漏,因此每一個用閥門封閉的區(qū)間,至少要有一個測量點,以便測量和檢漏。
(4)真空系統(tǒng)中配置的閥門和管道,應(yīng)使系統(tǒng)抽氣時間短,使用方便,。一般在有一個蒸氣流泵作為主泵(擴散泵或油增壓泵);和一個機械泵作為前級泵的系統(tǒng)上,除了有前級管道(蒸氣流泵串聯(lián)機械泵的管道)外,還應(yīng)有一個預(yù)真空管道(真空室直通機械泵的管道)。其次是在真空室和主泵之間設(shè)有高真空閥門(也稱主閥),在前級管道上設(shè)有前級管道閥(也叫低真空閥);在預(yù)真空管道上設(shè)置預(yù)真空管道閥(稱低真空閥)。主泵上的高真空閥門,通常不能在閥蓋下為真空狀態(tài),而閥蓋上為大氣壓狀態(tài)下開閥,這要通過電氣聯(lián)鎖。前級管道閥和預(yù)真空管道閥要考慮到閥本身能在大氣壓下開閥。以蒸氣流泵為主泵的真空系統(tǒng),主閥要蓋向主泵,前級管道閥也要蓋向主泵,預(yù)真空管道閥蓋向真空室。
在機械泵入口管道上,應(yīng)設(shè)一個放氣閥門,當(dāng)機械泵停止工作時,能立即打開此閥,使機械泵入口通入大氣,防止機械泵油返流到管路中,因此該閥要和機械泵電氣聯(lián)鎖。真空室上也要設(shè)置放氣閥門,給裝料和取料時用。該閥設(shè)置的位置要考慮到放氣時,氣體沖力較大,防止因沖力過大而破壞真空室內(nèi)的薄弱構(gòu)件。放氣閥的大小與真空室的體積有關(guān),要考慮放氣時間不能太長,影響工作。
在機械泵入口管道上,應(yīng)設(shè)一個放氣閥門,當(dāng)機械泵停止工作時,能立即打開此閥,使機械泵入口通入大氣,防止機械泵油返流到管路中,因此該閥要和機械泵電氣聯(lián)鎖。真空室上也要設(shè)置放氣閥門,給裝料和取料時用。該閥設(shè)置的位置要考慮到放氣時,氣體沖力較大,防止因沖力過大而破壞真空室內(nèi)的薄弱構(gòu)件。放氣閥的大小與真空室的體積有關(guān),要考慮放氣時間不能太長,影響工作。
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