在低壓強范圍內提供大抽速
安捷倫公司的渦旋泵產品線提供的無油真空，并可以很方便地集成到現有系統中，因而適合多種和工業應用。該泵利用簡單的雙渦盤結構產生真空，即一個嵌套渦殼圍繞另一個旋轉，產生捕集氣體運動的空間。氣體從周邊進入渦旋泵，并被轉移和壓縮至中央轂，然后在中央轂處排放，從而產生低極限壓力和大抽速。我們的干式渦旋泵是許多高標準應用的理想初級泵，具有耐用、、易于維護的特點。
IDP-3 的抽速為 60 升/分鐘。
IDP-3特點：
無油
功能
抽速 60 升/分
高性能
的無油真空
低噪音、低振動
維護次數少、成本低
容易集成到任何系統中
安捷倫 渦旋式干泵 IDP-3
Technical Specifications
| Peak Pumping Speed (60 Hz) | 60 L/M, 3.6 M3/Hr, 2.1 Cfm |
| Peak pumping speed (50 Hz) | 50 L/m, 3.0 m3/hr, 1.8 cfm |
| Ultimate pressure | 2.5 × 10-1 torr (3.3 × 10-1 mbar, 33 Pa) |
| Maximum inlet pressure | 1 atm (0 psig) |
| Maximum outlet pressure | 1.4 atm (6.5 psig) |
| Exhaust connection | 1?4-in. female nat’l pipe thread (10 mm hose barb provided) |
| Exhaust connection adapter | NW16 KF adapter provided |
| Gas ballast connection | 1?8-in. female nat’l pipe thread |
| Ambient operating temp | 5 to 40 °C (41 to 104 °F) |
| Storage temperature | –20 to 60 °C (–4 to 140 °F) |
| Motor rating | 0.16 horsepower (0.12 kW) |
| Motor thermal protection | Automatic |
| Rotation speed | 60 Hz: 3200 RPM; 50 Hz: 2600 RPM; 24V DC: variable speed, factory setting: 3200 RPM |
| Cooling | Air-cooled |
| Weight | 9.5 kg (21 lbs) Ship: 10.5 kg (23 lbs) |
| Restrictions | No corrosive, explosive, particulate-forming gas |
| Leak rate (exhaust sealed) | <1 × 10-6 std-cc/sec helium |
| Noise level (ISO 11201) | 55 dB(A) |
| Vibration at inlet (ISO 11201) | 1.5 mm/sec |
| Compliance | CE, CSA, CSA/CUS, Semi S2-703, RoHS |
Outline Drawing
| 干泵型號 | IDP-2 | IDP-3 | SH-110 | TriScroll 300 | · TriScroll 600 |
| 抽速（l/min） | 30 | 50 | 90 | 210 | 420 |
| 極限真空(mbar) | 0.1 | 0.33 | 6.6 x 10-2 | 1.3 x 10-2 | 9.3 x 10-3 |
| 冷卻方式 | 風冷 | 風冷 | 風冷 | 風冷 | 風冷 |
| 體積（mm3） | 351x181x140 | 384 x 240 x 276 | 437 x340 x325 | 471 x355 x343 | |
| 重量（Kg） | 9.5 | 9.5 | 19 | 26.4 | 32 |
IDP-2、IDP-3 干泵是Agilent公司新推出的緊湊型全無油的高性能真空泵，能夠適合的應用需要。IDP-2 是上的渦旋泵，用于粗真空獲得應用，重量僅有9.5Kg，能夠輕而易舉地集成到實驗、分析、生產系統當中。IDP-3 所具有的60/升/分鐘抽氣速度以及 250mTorr（約33Pa）極限壓強，使其在同級別產品當中具有無可匹敵的優勢。
干泵/干式蝸旋泵產品特點：
◆ 全無油泵，不會污染真空系統
◆ 采用獨立馬達與軸承的密封設計
◆ 體積小巧：351x181x140mm
◆ 與老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的極限壓強
◆ 無任何可能造成災害性系統故障的機械部件
◆ 低噪聲，低振動
Agilent SH-110全密封干式渦旋泵具有業內的真空獲得性能，結構緊湊，能夠輕易地實現與現有、生產設備的真空系統相集成。此型號單級渦旋泵具有110升/分鐘的抽速(60Hz電源條件下)，可獲得50mTorr(約67Pa)的極限真空，即使單獨作為粗真空獲得設備也是理想的選擇。SH-110渦旋泵符合CE、CSA以及Semi S2-0200等多種標準。
干泵/干式蝸旋泵性能特點：
◆ 工作狀態下泵體發熱低
◆ 馬達功率不到200瓦，低功耗
◆ 內置出氣閥門降低工作噪聲
◆ 出氣口位置可以動，以便更好地適應空間要求
◆ 高壓區間抽速高，迅速進入真空狀態
◆ 重量輕，配有把手，易于攜帶
◆ 內置故障保護隔離閥真空系統的
◆ 配有自動氣鎮閥以排空水蒸氣
◆ 維護簡便，只需定期更換密封圈即可
TriScroll 300干泵 是Agilent公司生產的一款用于初級真空獲得的多級干式渦旋泵產品,具有出色的工作穩定性。TriScroll 300 以高抽速為用戶提供了具有較低極限真空的無油潔凈真空環境。多年的實際應用證明，Agilent 獨有的TriScroll 300 設計具有很高的性和耐用性，產品性能穩定，性價比突出。
干泵/干式蝸旋泵特點：
◆ 具有軸承吹掃功能，保護軸承不被工藝氣體或粉塵污染
◆ 高性
◆ 具有自動氣鎮口
TriScroll 600干泵 是Agilent公司生產的一款用于初級真空獲得的多極干式渦旋泵產品，具有出色的工作穩定性。TriScroll 600 以高抽速為用戶提供了具有較低極限真空的無油潔凈環境。多年的實際應用證明,Agilent獨有的TriScroll設計具有很高的性和耐用性，產品性能穩定，性價比突出。
Agilent公司利用干式渦旋真空獲得為用戶提供了高抽速，低極限壓強的真空泵產品。干式渦旋泵具有全無油、高耐用性、高性以及易維護等優勢，是眾多應用的理想前級真空獲得產品。
