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產品詳情
  • 產品名稱:Hanbell PS602 漢鐘真空泵維修 干式螺旋真空泵保養

  • 產品型號:PS602
  • 產品廠商:其它品牌
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簡單介紹:
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詳情介紹:
漢鐘真空泵維修 漢鐘螺桿泵維修 漢鐘干式螺桿真空泵維修
PS80 PS160 PS250 PS602 PS902 PS1302 PS1802
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HANBELL 真空泵精修 漢鐘真空泵保養

漢鐘干式真空泵 包括臺灣漢鐘干式螺桿式真空泵

PDR系列 包括機型 漢鐘真空泵 PDR100 , 漢鐘真空泵 PDR602, 漢鐘 真空泵 PDR1202 
PS系列     包括機型 漢鐘真空泵PS80 ,漢鐘真空泵PS160,漢鐘真空泵 PS180,漢鐘真空泵 PS602,漢鐘真空泵 PS1302

臺灣漢鐘真空泵PS系列產品特點 螺旋真空泵浦產品特色
  
  漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子,在轉子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑,因而無油氣回漏污染的問題。透過轉子線形良好的密封效果,壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強,加上轉子表面披覆材質的鍍膜,因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。 泵浦溫度控制精準
  
  漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦,承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計,同時改善殼體的冷卻方式,采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度,能夠更精準地控制泵浦內部溫度,減少沉積物的產生,增加真空泵浦的壽命。 密封馬達性高
  
  PS系列真空泵浦亦采用設計的水冷罐裝密封馬達,除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外,也可避免制程氣體外漏的風險。 微電腦控制保護周全
  
  PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器,可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低,提供真空泵浦完整的性保護,十分適用于光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。










Hanbell PS602 漢鐘真空泵維修 干式螺旋真空泵保養

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