概述
XDS46i 泵是在 XDS35i 基礎上的產品,因此兩者具備相同的功能和優勢,但前者的峰值泵速可達 40m3/hr。當入口壓力在 1 mbar 到 10 mbar 之間時,XDS46i 針對大抽速進行了優化,因此適合需要比 XDS35i 的抽速更高抽速的 LCMS 和 ICPMS 應用。端部密封的新改進減少了端部密封的磨損,從而延長了維修干預之間的時間間隔。變換器驅動控制著電機的特性,泵總是以優化速度運行,并使用戶可以對泵進行遠程控制。
應用
分析儀器
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
渦輪分子前級泵
速離心機
覆層
低溫學
脫氣/硫化 - 油,環氧樹脂
蒸餾/萃取/過濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實驗室工作臺上真空
激光、氣體回收和再循環
氦檢漏儀
負載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環
稀有氣體回收
冷凍制造
旋轉離心蒸發器
SEM/FIB(離子束維修)
溶劑回收
表面科學儀器
LCMS 入口
ICPMS 入口
覆層
特點及優勢
真空外殼中不需要使用潤滑劑,密封可徹底的清潔和干燥真空,防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運行,使用時間更長
無需更換潤滑油,也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費用
簡單的單側滾軸設計意味著維護工作可在數分鐘內完成,降低運行成本,盡可能延長正常運行時間
變換器驅動可使抽速穩定維持在 50/60Hz
排量(50 Hz 或 60 Hz)
60 m3h-1/35 ft3min-1
峰值抽速(50 Hz 或 60 Hz)
40 m3h-1/23.5 ft3min-1
極限真空(總壓力)
5 x 10-2 mbar/4 x 10-2 Torr
大連續進氣口壓力
40 mbar/30 Torr
大連續壓力
0.2 bar 表壓 / 2.9 psig
允許的大進氣口和 GB 壓力
0.5 bar 表壓/7 psig
電機功率
0.52 kW
電源連接器
IEC EN60320 C19
標稱轉速
1750 rpm
重量
48 kg/105 lb
入口法蘭
NW40
排氣口法蘭
NW25
噪音級別
55.4 dB(A)
振動
<4.5mms -1 (rms)
密封性(靜態)
<1 x 10-6 mbar ls-1
工作溫度范圍
10 至 40 °C/50 至 104 °F