概述
XDS35i 泵具有新的軸承護罩設計，可將真空環境與形式的潤滑劑隔離開來，使之不僅干燥，而且密封。該屏蔽還能保護軸承免受任何制程蒸汽的影響。
氣囊允許處理蒸汽，將應用范圍拓展到以前許多不適用滾軸泵的情況。變頻器驅動裝置控制著電機特性，可泵總是以轉速運轉。
應用
分析儀器
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
渦輪分子前級泵
速離心機
覆層
低溫學
脫氣/硫化 - 油，環氧樹脂
蒸餾/萃取/過濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實驗室工作臺上真空
激光、氣體回收和再循環
氦檢漏儀
負載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環
稀有氣體回收
冷凍制造
旋轉離心蒸發器
SEM/FIB（離子束維修）
溶劑回收
表面科學儀器
特點及優勢
真空外殼中不需要使用潤滑劑，密封可徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染
排量（50 Hz 或 60 Hz）
43 m3h-1/25 ft3min-1
峰值抽速（50 Hz 或 60 Hz）
35 m3h-1/21 ft3min-1
極限真空（總壓力）
1 x 10-2 mbar/8 x 10-3 Torr
水蒸汽的大進氣口壓力
35 mbar/23 Torr
大水蒸汽抽速 – GB I
70 gh-1
大水蒸汽抽速 – GB II
240 gh-1
允許的大壓力
0.2 bar 表壓 / 2.9 psig
允許的大進氣口和 GB 壓力
0.5 bar 表壓/7 psig
電機功率
0.52 kW
電源連接器
IEC EN60320 C19
標稱轉速
1750 rpm
重量
48 kg/105 lb
進氣口法蘭
NW40
排氣口法蘭
NW25
噪音級別
57 dB(A)
振動
<4.5mms -1 (rms)
密封性（靜態）
<1 x 10-6 mbar ls-1
工作溫度范圍
10 至 40 °C/50 至 104 °F
無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長
無需更換潤滑油，也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費用
簡單的單側滾軸設計意味著維護工作可在數分鐘內完成，降低運行成本，盡可能延長正常運行時間
變換器驅動可使抽速穩定維持在 50/60Hz
愛德華 XDS35i 渦旋式真空泵 干式渦旋泵 渦卷泵 干式真空泵 Edwards真空泵
