真空產(chǎn)品和尾氣處理系統(tǒng)及相關(guān)加值服務(wù)的全球供應(yīng)商Edwards公司 (NASDAQ: EVAC)，在2012年再度參加SEMICOM Taiwan半導(dǎo)體展覽，展示其業(yè)界之真空和尾氣處理系統(tǒng)的新產(chǎn)品系列，展場(chǎng)位于臺(tái)北世貿(mào)南港展覽館，Edwards公司展位編號(hào)為545。

Edwards是干式真空泵浦系統(tǒng)的，其適用于半導(dǎo)體及其他相關(guān)產(chǎn)業(yè)包括LED、平面顯示器、太陽(yáng)能產(chǎn)品等產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)制造沉積制程，處理惡劣與腐蝕性的化學(xué)環(huán)境。

　　Edwards的干式泵浦解決方案和尾氣處理系統(tǒng)的運(yùn)作不僅環(huán)保，而且十分具有效益。其干式泵浦如iXL 和 iXH系列可以地節(jié)能減碳。今年SEMICON Taiwan展場(chǎng)中新發(fā)表的iXL1000，是為電介質(zhì)刻蝕及輕型應(yīng)用所設(shè)計(jì)的干式真空泵浦， 相較于成功的同等級(jí)iGX/GX系列干式泵浦，它能再降低多達(dá)33%的耗電量。同樣的，Edwards的尾氣處理解決方案，也有類似的綠色環(huán)保特色，并能降低燃油消耗。

　　Edwards的干式泵浦和尾氣處理系統(tǒng)正在被應(yīng)用于臺(tái)灣的半導(dǎo)體及相關(guān)產(chǎn)業(yè)，當(dāng)中包括臺(tái)灣主要的代工產(chǎn)業(yè)，Edwards在臺(tái)灣至今已經(jīng)安裝過(guò)22,000臺(tái)干式和渦輪分子泵浦，以及3,000組尾氣處理系統(tǒng)。臺(tái)灣了外延片代工模式，在充滿挑戰(zhàn)的全球環(huán)境下，臺(tái)灣的外延片代工廠持續(xù)投資于的，并把組件尺寸縮少到在奈米尺寸制程。Edwards的干式泵浦和尾氣處理系統(tǒng)，在臺(tái)灣能成功將半導(dǎo)體制程跨入深次微米 (deep-submicron) 的過(guò)程中，扮演了重要的關(guān)鍵角色;同時(shí)在日益重要的化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)等新興制程中，Edwards也能根據(jù)新的應(yīng)用之需求，提供適合的產(chǎn)品組合。

　　Edwards亞太區(qū)總裁 Neil Lavender-Jones指出：“Edwards在臺(tái)灣了兩方面的作用。我們業(yè)界的干式泵浦，對(duì)現(xiàn)今半導(dǎo)體生產(chǎn)制程中所需的真空環(huán)境而言，是關(guān)鍵的核心。Edwards幫助整個(gè)產(chǎn)業(yè)以低成本獲得、及節(jié)能的真空環(huán)境，并在維持高產(chǎn)量和高硅片“一次成功率”中了重要作用。同樣重要的是，我們的尾氣處理系統(tǒng)了在這些制程中產(chǎn)生的高污染物質(zhì)，包含可能加速全球暖化的氣體，將沒(méi)有任何機(jī)會(huì)擴(kuò)散到自然環(huán)境里。對(duì)于 Edwards公司來(lái)說(shuō)，環(huán)保是企業(yè)的首要社會(huì)責(zé)任，我們始終不變的目標(biāo)是將環(huán)境的碳足跡減到少。”

　　2011年，Edwards客戶在全球各地的設(shè)備總共減少排放相當(dāng)于8,500,000公噸的二氧化碳。Edwards將參與9月6日(星期四)在臺(tái)北世貿(mào)南港展覽館402A室，由SEMICON Taiwan 2012展會(huì)舉辦的綠色制程趨勢(shì)論壇，強(qiáng)調(diào)Edwards在環(huán)境管理中扮演的角色和肩負(fù)的責(zé)任。論壇主題是綠色生產(chǎn)制造的，真空產(chǎn)品業(yè)務(wù)經(jīng)理 Mike Percy和產(chǎn)品經(jīng)理Jerome Boegner將會(huì)發(fā)表演說(shuō)，題目為“真空和尾氣處理系統(tǒng)在能源和設(shè)備方面的節(jié)省優(yōu)勢(shì)” (時(shí)間為下午3:00到3:30)。

　　自1998年Edwards在臺(tái)灣設(shè)立以來(lái)，公司的規(guī)模已成長(zhǎng)五倍，員工數(shù)從42名擴(kuò)展至目前共有205名。2010年Edwards更加強(qiáng)對(duì)臺(tái)灣客戶的承諾，于苗粟縣竹南鎮(zhèn)設(shè)置一占地5,000平方米 的服務(wù)銷售中心，為顧客帶來(lái)更貼近的在地服務(wù)，并擴(kuò)展各項(xiàng)服務(wù)的范圍。隨著Edwards在臺(tái)灣不斷的提供服務(wù)改進(jìn)和支援，也吸引了眾多的客戶，在短短兩年內(nèi)，公司在臺(tái)灣的服務(wù)業(yè)務(wù)已經(jīng)出現(xiàn)的成長(zhǎng)。

　　Edwards在亞洲深耕達(dá)四十年，現(xiàn)在與此區(qū)域各個(gè)的半導(dǎo)體制造商合作，提供整合式真空和尾氣處理解決方案，包括建置、管理、服務(wù)和支援。