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由哪幾部分組成中央真空系統？
日期：2024-12-22 16:53
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摘要：
中央真空系統是由真空泵、PLC程序控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統。目前，該系統應用于電子半導體業、光電背光模組、機械加工等行業。
真空系統的控制系統由的PLC控制系統經過編程后組成,以觸摸屏為人機界面,實現對真空系統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護系統等的全自動化控制。
工作流程：啟動系統，主真空泵組開始工作，直到真空罐內真空度達到設定的上限值，真空泵自動停止運行，中央真空系統內的真空由管路上的真空止回閥自動截止而得到維持。如因工作需求真空罐內真空度下降并低于設定的下限值時，備用真空泵組自動啟動。由此循環往復，真空系統的真空度能夠維持穩定的真空源，滿足生產的要求。
真空系統自啟動后，運行過程可以實現全自動控制。在工作中，真空系統內各處的真空度(即真空稀薄程度平均分布)始終在其允許范圍內上下波動，其波動范圍可根據用戶要求進行調整。
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