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萊寶真空泵半導體及原理介紹
日期：2024-12-22 17:10
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摘要：
萊寶真空泵SOGEVAC系列是單極油封式旋片泵。泵本身帶有防返油閥、氣鎮閥（選配）、過濾器、回油線路和和油冷卻回路。泵由直聯法蘭電機驅動。
安裝在泵體中的偏心轉子）有三塊葉片，它們把泵分成三個隔室，每個隔室的容積隨轉子的旋轉周期性的變化。
當轉子旋轉時，抽空腔的進氣部分容積擴大，將氣體從進氣口吸入，氣體經過空氣濾芯，打開的防返油閥進入腔泵。當轉子進一步旋轉，葉片從吸入口將泵腔部分分開。這部分泵腔容積減少，氣體被壓縮。氣體在略高于大氣壓時經過排氣閥從泵腔排出。
油在注入泵腔起密封、潤滑和泵冷卻的作用。壓縮氣體夾帶的油在油箱內由于折轉而被初步捕集。而后在油霧分離器中被徹底過濾。于是，排氣中油含量下降至低于可見程度。
注：SOGEVAC系列泵不能抽空侵蝕性、腐蝕性、易燃或易爆氣體。
半導體行業正持續迅速的發展著，為能滿足客戶對產品和工藝快速不斷變化的需求，我們與客戶之間的溝通從未象今天這樣如此重要。
真空設備在半導體生產過程中著極為重要的作用，針對的生產要求必須選擇適合的真空設備。
過去的幾年里，為滿足半導體行業需求，我們縮短產品周期，更加迅速的推出新的產品，大大提高了我們的服務質量。
